*北京教育信息网：北京科技大学成立MEMS联合研发中心

来源：恒洋资讯网

　　北京科技大学MEMS联合研发中心将以功能薄膜材料研究和制备为基础，以系统设计、加工和评价理论方法为主线，以典型微系统和关键微器件为对象，结合市场需求，重点研究开发国防和核电等重要用途、在理论体系上可持续发展的MEMS应用成套技术。

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